1단계 승화
고체상태의 분말 이량체(dimer)를 기체 상태로 승화하기 위해서 가열합니다(100~180 ℃)

2단계 열분해
승화된 이량체는 더 높은 온도(~ 650℃)에서 열분해되어 단량체(monomer) 가스로 분해합니다.

3단계 증착
단량체는 코팅챔버로 유입되어 상온에서 기판 표면에 진공 증착됩니다.
딥(dip) 또는 스프레이 코팅과 같은 다른 컨포멀 코팅과 다르게 파릴렌은 기상 공정이기 때문에 기판 표면의
틈을 포함 마스킹되지 않은 표면에 매우 균일한 코팅이 가능합니다.